パーキンエルマーAvio 220 Max ICP-OESを用いて、高純度石英中の微量不純物元素を高感度・高精度に測定し、規格への適合性を評価する方法がわかるアプリケーションノートです。
背景として、高純度石英は半導体や太陽光パネル向け製品に欠かせない材料です。わずかな不純物が最終製品の性能に影響するため、規格に基づく正確な品質管理が求められます。 検量線の直線性、検出下限、添加回収率の検証データと実サンプルの測定結果を掲載していますので、ぜひ資料をご請求ください。
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