Application Note RequestAvio 220 Max ICP-OES を用いた高純度石英中の不純物測定

高純度石英（通常はSiO₂ が99.99%以上）は、優れた光学特性と熱特性を持つため、主に高性能光学デバイスや、太陽光パネル・半導体産業におけるさまざまなハイテク製品の製造に使用されます。しかし、石英の純度は極めて重要であり、微量元素が含有されると、最終製品の電気特性や性能に大きな影響を与えます。そのため、高純度石英中の微量元素含有量を正確に測定し、品質管理を行うことが必要です。中国規格 GB/T 32649-2016「光伏用途の高純度石英砂」によると高純度石英中の不純物元素の合計含有量は25 μg/g 以下である必要があり、そのうちLi、K、Na の合計は2.5 μg/g 未満でなければなりません。
本アプリケーションノートでは、Avio 220 Max ICP-OESを用いて、GB/T 32649-2016に準拠した高純度石英中の不純物測定の実例を紹介します。