パージ手順

必要なもの

• パージコネクタ（付属）
• パージチューブ
• 純度99.99 %以上の窒素ガスまたはアルゴンガス
• レギュレータ
• 流量計

手順

1. パージコネクタ（付属）をパージチューブに接続します。
   パージコネクタ（付属）をパージチューブ（恐れ入りますがお客様出ご用意ください）に接続します。パージチューブは内径4 mm、外径6 mmのものをお使いください。

   

2. パージチューブをガスボンベ（窒素、もしくはアルゴン）に接続します。
3. パージコネクタをパージ口に差し込みます。
   パージ口は装置背面下部にあります。パージ口は2 種類あります。（INST PURGE,SAMPLE PURGE）
   装置内のパージを行う際は、INST PURGE口にパージコネクタをカチッと音がするまで差し込んでください。

   

4. レギュレータを操作してパージを開始します（28 l/minで10 分）