Application Note RequestNexION 5000 ICP-MSによる希硝酸中の非金属元素の超微量分析

硝酸（HNO₃）は、半導体産業や電子工業産業のあらゆる工程で幅広く使用され、使用される分野や意図した用途において、さまざまな純度グレードが求められています。そのため、半導体産業で求められる製造要件を満たすためには、硝酸溶液中に存在する非金属元素を含めた種々の不純物を、これまでにない低い濃度まで検出する必要があります。
ICP-MS 分析ではプラズマガスやサンプルマトリックスに起因する複雑なスペクトル干渉の影響があり、希硝酸中に存在する非金属元素を低いppt レベルで定量することは、従来型のICP-MS では困難な場合があります。この問題は、イオンがコリジョンリアクションセルに入る前に質量分離することに加えて、四重極セル内における反応を制御することにより簡単に解決できます。これは、コリジョンリアクションセルに四重極を搭載したシステムのみで可能です。
このアプリケーションノートでは、NexION 5000 マルチ四重極ICP-MS を用いて、希硝酸溶液中に存在する非金属不純物のDL およびBEC を求めました。