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半導体関連のアウトガス分析に用いる加熱脱着法とそのノウハウ
半導体関連部品のアウトガス分析に用いられる熱脱着－GC/MS法で重要なポイントとなるバックグラウンドの低減化について、ブランク原因とその対策および流路の汚染原因とその防止策を検討しました。パーキンエルマーの加熱脱着装置TurboMatrix ATDを用いる上でのノウハウを紹介します。
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