塩化水素（HCl）ガス中に含まれる金属不純物を、ガス交換装置（GED）と ICP-MS の組み合わせにより、前処理なしで直接分析できます。
半導体の微細化が進み、ガス中の金属汚染をより厳密に管理する必要が高まっている背景から、従来のバブリング捕集法が抱えていた課題を解消する手法として開発されました。検出感度の実測値や粒子径の算出結果、フィルター有無による比較データなど詳細な検証結果は、ぜひ資料をご請求のうえご確認ください。
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