Application Note Request種々のセルガスを用いたNexION 5000 ICP-MS による希硫酸中の非金属元素の極微量分析

半導体の製造がマイクロレベルで行われるにつれて、ICP-MSによる非金属元素の極微量分析への需要が高まっています。ICP-MSの中でもコリジョンリアクションセルの前に四重極を持つ装置では、セル内の反応をコントロールすることが可能なため、検出下限の大幅な改善が実現します。これにより、低濃度の非金属元素の検出と定量が可能になります。
このアプリケーションノートでは、NexION 5000 マルチ四重極ICP-MS を使用して、硫酸中に含まれる極微量濃度の非金属元素を分析した結果を紹介します。検出下限（DL）とバックグラウンド相当濃度（BEC）は定量下限に直接関係するため、種々のセルガスとセルガス条件を組み合わせて最適なパラメーターを検討しました。