Application Brief RequestprepFAST SおよびNexION 5000 ICP-MSを用いた半導体グレードBOE液の自動分析

緩衝酸化物エッチング液/ バッファード・オキサイド・エッチング液（Buffered Oxide Etchants：BOEs）は、ふっ化水素酸、ふっ化アンモニウム、界面活性剤、および超純水からなる混合物で、ウェーハ上の薄膜をエッチングする際に使用されています。微量金属、微粒子、有機汚染物質は半導体の機能を変化させる可能性があることから、エッチングプロセス中においてシリコンウェーハの潜在的な汚染を減らすことは非常に重要です。作業環境下での汚染をサブppt レベルで管理することは難しいため、適切にサンプル処理を実施しないとBOE 液を簡単に汚染してしまう可能性があります。
このアプリケーションノートでは、パーキンエルマー社のNexION 5000 マルチ四重極ICP-MSとESI 社のprepFAST S（ウルトラクリーンモデル）サンプル導入システムを組み合わせ、半導体グレードのBOE 液を分析した事例を紹介します。