Application Note Request自動標準添加装置(ASAS)-ICP-MS を用いた半導体グレード薬品の分析

半導体製造工程では様々な薬品が使用され、これらの薬品に要求される金属不純物の濃度は、ますます低くなっています。誘導結合プラズマ質量分析法（ICP-MS）は、様々な薬品中の極微量金属不純物を分析する最も高感度技術のうちの一つであり、半導体分野において必要不可欠な手法です。多くの薬品は、極微量レベルの金属不純物を測定するために、希釈倍率を最小限にして分析されます。しかしながら、ICP-MS の感度が薬品濃度に影響されるため、感度変動を補正して正確な分析をする標準添加法（MSA）を用いる必要があります。
このアプリケーションノートでは、パーキンエルマー社製NexION 5000 ICP-MS に接続されたオンライン自動標準液添加装置（ASAS）を用いて、半導体グレードのH2SO4 およびHCl 中の金属不純物分析について紹介します。