SEMICONエグゼクティブ・フォーラム＆ネットワーキング・ディナー

招待講演①

半導体分野における極微量金属不純物管理について

半導体製造過程における金属不純物管理の要求は年々厳しくなってきています。また、ウェーハ１枚の価格が急激に上昇してきており、歩留まり改善に直結する品質管理への投資が増えてきています。そこで、弊社で開発した製品とNexION 5000を用いて得られた新しい極微量金属不純物の分析例を紹介します。

社内講演①

Triple Quadの先へ：マルチ四重極（Multi Quadrupole）ICP-MSが拓く超微量分析の新たな可能性
― NexION 5000による干渉制御と超微量分析 ―

小林 恭子
パーキンエルマー合同会社

先端半導体製造では、ppqレベルに迫る金属不純物の管理が歩留まりと信頼性を左右します。ICP-MSによる超微量分析においては、スペクトル干渉に起因する誤検出の回避が重要な課題となります。本講演では、トリプル四重極ICP-MSにおける干渉制御の考え方を整理し、NexION 5000のマルチ四重極構成による選択的リアクション制御について解説します。さらに、NH₃、O₂、H₂を用いた干渉除去の実例を通じて、半導体分野における超微量分析の実現と信頼性向上のアプローチを紹介します。

招待講演②

ICP-MSで採用が進む最新ドライポンプNeoDry-Gシリーズのご紹介

ICP-MS用途において、真空ポンプは必要不可欠な機器です。現在のトレンドとしてロータリーポンプからのドライ化が進んでおり、装置に求められる要件を満たすのが当社のドライ真空ポンプです。
クリーン排気・低騒音・低振動などのメリットや、メンテナンスサイクル6年に一度の信頼性・耐久性を持つ、最新NeoDry-Gシリーズの特長や採用例をご紹介します。

社内講演②

高感度・高再現性・低コスト運用を実現する次世代ICP-OES Avio 3000の新機軸

古川 真
パーキンエルマー合同会社

微量から主成分までの元素分析では、分析スピードだけでなく、低濃度域での感度、測定再現性、運用コストの両立が課題です。堅牢なプラズマを維持しながらアルゴン消費を抑え、チラーレス運用を可能にするHeliPlate RFG技術、短波長域の感度向上に貢献する新設計分光器とUVブースト機能、さらに低ノイズかつ広いダイナミックレンジで多波長同時計測を可能にする新検出器を中心に、Avio 3000が切り拓く安定運用の新たな価値を提案します。

招待講演③

AMC SENSING AESTHETICS — 空間を、解読する：分子レベルの可視化が変えるクリーンルーム管理の未来

「見えない脅威」を、リアルタイムの「確信」へ。従来のサンプリング分析から脱却し、最新のMicro Gas Chromatographyを用いた、常時モニタリングの重要性を解き明かします。空間に漂う微細なAMCの挙動をダイナミックに可視化し、品質管理を「予測の科学」へと昇華させる、インテリジェントな監視デザインを提唱します。