TAMS 自動角度可変 透過・反射測定システム

固体試料への入射角度と検出器の受光角度を、任意の位置に設定可能です。
各角度における透過率または絶対反射率の自動測定が可能になります。

• TAMS の装脱着は容易で、アライメント不要で簡単にセッティングできます。
• アプリケーションごとに、最適な検出器セットを選択できます。
• 積分球又は標準検出器から選択可能
• BRDF / BTDF散乱測定
• 回転角度の分解能　0.01°
• サンプルの回転角度　+/- 180°
• 反射測定の入射角度　7.5°〜80°（サンプルサイズによって異なります）
• 透過測定の入射角度　5°〜80°（サンプルサイズによって異なります）
• 標準サンプルホルダーで最大150 x 150 mmのサンプルを設置可能
• オートサンプラーは、6インチウェーハのさまざまな位置で測定を行うことができます。

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