Technical Note Download透過測定における干渉縞の解析と除去

薄膜の赤外透過測定を行った場合、赤外吸収のみられない領域にも一定間隔の波形が観察されることがあります。この波形は干渉縞(フリンジ)とよばれるもので、サンプル厚みの計算などに利用される一方、吸収強度に誤差を生じ、またサンプルの小さな吸収が干渉縞にかくれて定性評価などが困難になる場合もあります。本報では干渉縞を利用してサンプルの膜厚を計算する方法と干渉縞の抑制方法をご紹介します。

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