Application Note Downloadグラファイトファーネス原子吸光分析法による超高純度試薬およびフォトレジスト剥離液中の超微量分析

半導体産業では、非常に複雑な試料マトリックスや腐食性の高い酸の分析において、サブppb 領域のような超微量の金属を定量できる分析技術が求められています。これらの要求に応えるためには、誘導結合プラズマ質量分析法（ICP-MS）のような高性能な手法が好まれています。しかし、製造プロセスや設備のトラブル時には、アルカリ元素であるナトリウム（Na）、カルシウム（Ca）、アルミニウム（Al）や遷移元素の鉄（Fe）、銅（Cu）など、環境起因に代表されるいくつかの元素を簡単かつ迅速に測定することが必要な場合もあります。このような時は、グラファイトファーネス原子吸光分析法（GFAAS）が非常に有効です。
グラファイトファーネス原子吸光分析法は、最適化された温度プログラムにより複雑な試料マトリックスを除去できることから、特異的で選択性の高い手法と言えます。試料マトリックス中の干渉物が除去され、分析対象元素と分離されることから、ほとんど干渉のない分析が可能となり精確な結果が得られます。