Application Note Downloadグラファイトファーネス原子吸光分析法による超高純度試薬およびフォトレジスト剥離液中の超微量分析

PinAAcle 900Z のグラファイトファーネス原子吸光分析法（GFAAS）を用いて、超高純度試薬やフォトレジスト剥離液中の Na・Ca・Al・Fe・Cu を超微量レベルで簡便に分析できる方法が分かります。

• 最適化した温度プログラムで試料マトリックスを除去し、干渉の少ない精確な分析を実現
• TubeView ファーネスカメラで炉内の状況を確認しながらメソッド開発
• Syngistix for AA のメソッド開発機能で温度プログラムの最適化を自動化
• 酸・アンモニア水・TMAH・IPA・剥離液など、多様な薬液に共通のメソッドを構築

半導体製造では、プロセスや設備のトラブル時に環境起因の元素を迅速に確認する必要があり、そのための手段として GFAAS が有効な理由もご紹介します。各薬液での添加回収試験データや検出下限値のデータを掲載していますので、ぜひ資料をご請求ください。