Application Note RequestASAS II（自動標準液添加装置）、ASDM（自動希釈機能付きオートサンプラー）を用いたNexION 5000 によるリン酸測定

誘導結合プラズマ質量分析法（ICP-MS）は、様々な化学物質中の金属不純物を分析するための最も高感度な技術の一つであり、半導体産業において不可欠な分析ツールです。ほとんどの化学物質は、金属不純物の超微量レベルを測定するために最小限の希釈で分析されます。しかしながら、高濃度の化学物質の影響で、サンプル導入系、プラズマ、イオンレンズとコーンの部分でICP-MSの感度は変化します。
このアプリケーションノートでは、ASAS II_DS とASDM をパーキンエルマーのNexION 5000 Multi-Quadrupole ICP-MS に接続してH₃PO₄ 液を分析した結果を紹介します。