全自動VPD-ICP-MS によるSi ウェーハ中の金属不純物の測定 - PerkinElmer Japan

OnDemand Webinar
全自動VPD-ICP-MS によるSi ウェーハ中の金属不純物の測定

VPD-ICP-MSによるシリコンウェーハ中の金属不純物の分析について解説いたします。
（所要時間：33分4秒）
※日本語字幕付き

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