完全自動化されたサンプル調製装置ASDM-ASASを用いた高純度薬液および有機溶媒分析 - PerkinElmer Japan

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完全自動化されたサンプル調製装置ASDM-ASASを用いた高純度薬液および有機溶媒分析

様々な高純度試薬、溶媒が半導体製造工程で用いられており、半導体デバイスの微細化が進むにしたがって、これらの薬液、溶媒中の金属汚染管理が重要になっています。高純度薬液と有機溶媒を分析するための完全自動化されたICP-MS のサンプル調製装置ASDM-ASAS-ICP-MS についてご紹介します。
（所要時間：32分47秒）
※日本語字幕付き

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