希土類元素（REEs）は、ランタノイド系元素に、Sc およびY を含めたものです。REEs の純度はその効果と価格を左右するため、超高純度の希土類酸化物を製造することが非常に重要と
なっています。酸化ネオジム（Nd2O3）はREEs の一つであり、主にガラスやセラミックスの着色剤、金属ネオジムの製造原料、ネオジム- 鉄- ほう素の強磁性合金の原料として使用されています。さらに、Nd はディスクドライブ用の超磁石に広く使われており、Nd とNd2O3 は高純度であることが重要となっています。したがって、これらのアプリケーションでは、不純物の管理が非常に重要となります。このようなことから、低い検出下限を得ることのできる誘導結合プラズマ質量分析法（ICP-MS）は、高純度 REEs 化合物中の不純物測定に最適な技術として長い間評価されてきました。
本報では、PerkinElmer のNexION 5000 マルチ四重極ICP-MSを使用して、高純度酸化ネオジムマトリックス中の希土類元素不純物を直接測定した事例を紹介します。