ナノテクノロジーの発展と多くの製品や工程へのナノ粒子使用の増大により、ナノ粒子の特性評価の必要性が増しています。様々な組成のナノ粒子が製造・利用されていますが、二酸化ケイ素（SiO2）ナノ粒子はナノマテリアル国内生産量がカーボンブラックに次いで2 番目に多い材料です。その用途は塗料や物質の強化、半導体プロセス用途の精密研磨、医薬品・食品の吸湿防止など様々です。
本アプリケーションノートでは、DRC モードを用いたSP-ICP-MS 測定におけるSiO2 ナノ粒子の検出、測定、特性評価について議論します。