半導体の製造がマイクロレベルで行われるにつれて、ICP-MSによる非金属元素の極微量分析への需要が高まっています。硫酸マトリックスの溶液では、プラズマガスや周囲の大気（アルゴン、窒素、酸素、水素、炭素）に加えて酸自体に含まれる硫黄も多原子イオン干渉の要因となるため、非金属の微量分析が特に難しくなってきます。
本アプリケーションノートでは、NexION 5000 マルチ四重極ICP-MS を使用して、硫酸中に含まれる極微量濃度の非金属元素（ほう素（B）、りん（P）、けい素（Si）、ゲルマニウム（Ge）、ひ素（As）、セレン（Se）、臭素（Br）、よう素（I））を分析した結果を紹介します。