シリコンウェーハの生産は、今後数年間で成長すると予想されます。シリコンウェーハの製造の最も一般的な方法の一つ CZ法では、微量の不純物が含まれますが、FZ 法と比較して耐熱性に優れ、早く低コストで製造できるというメリットがあり、最も広く採用されています。
製造工程では、電気的な欠陥や製品の故障/ 不合格品を未然に防ぐためシリコンウェーハ中の炭素および酸素の含有量が規定値以内であることを検査する必要があります。これら元素の不純物濃度の国際的な標準測定方法としてFTIR が採用されています。
本アプリケーションノートは、パーキンエルマー製のSpectrum 3 FTIR とPIKE technologies 社製MappIR アクセサリを使用したシリコンウェーハの不純物の定量分析をご紹介します。