ナノマテリアルの急速な開発および多様な消費財への展開により、サイズや組成が様々なナノ粒子（NP）の特性評価を迅速かつ精確に実施する必要性が生じています。金属ナノ粒子と金属を含むナノ粒子の測定にはいくつかの技術を利用することができますが、すべての方法に限界があります。シングルパーティクルICP-MS（ SPICP-MS）の開発により、従来法の持つ制限の多くを克服でき、金属および金属含有ナノ粒子やナノマテリアルを迅速に検出、定量、特性評価できる技術として多くの文献が発表されています。
本報では、独自のRF ジェネレータとイオン光学系を搭載したPerkinElmer 社製NexION 2000 ICP-MS とSyngistix Nano アプリケーションモジュールを用い、10 nm 以下のナノ粒子を単独もしくは他のサイズとの混合で精確に測定した事例を示します。