太陽電池モジュール製造工程におけるガス分析 - PerkinElmer Japan

太陽電池モジュール製造工程におけるガス分析

太陽光発電(PV:Photovoltaic)はクリーンエネルギーのひとつですが、PV自体の製造過程で排出される環境負荷物質をモニタすることも重要なプロセスです。

パーキンエルマーのガスクロマトグラフィーは、太陽電池モジュールの製造工程におけるガス分析に威力を発揮します。製造現場(クリーンルーム)での有機物汚染管理、製造工程で使用するガスの純度管理および製品のアウトガス分析に対応します。

 

 

 

 

Clarus 560/600 GCMSClarus™ SQ 8 GCMS ガスクロマトグラフ質量分析計

新しい検出器の採用により、さらなる高感度化と安定性を追求したClarus™ SQ 8 GC/MSは分析毎に必要な感度とダイナミックレンジを提供し、優れたスループットと高い生産性を生みます。

  • 新し検出器 "Clarifi" Detectorを採用。高感度と安定性を実現
  • 新イオン源の採用。Plug-inをさらに追求したメンテナンス性向上
  • GCサンプラー・TurboMatrixシリーズ、Swaferテクノロジーでの分析手法の拡張

 

 

太陽電池製造工程で使用されるガス

分類 ガスの種類 用途
雰囲気ガス Ar 不活性雰囲気
シリコン単結晶炉
O2 酸化性雰囲気
キャリアガス
酸化炉
拡散炉
CVD炉
N2 不活性雰囲気
キャリアガス
拡散炉
アニール炉
H2 還元性雰囲気
エピタキシャル炉
原料ガス SiH4 エピタキシャル成長
多結晶シリコン
SiHCl3(TCS)
SiCl4
薄膜形成用ガス SiH4 SixNy, SiO2
ドーピング用ガス NH3 拡散
Doped Oxide膜
エピタキシャル
単結晶
PH3
B2H6
ASH3
SbH3
エッチング用ガス CF4 酸化膜, 多結晶Si, SixNy
CCl4 Al, Crなどの金属のエッチング
HCl Si-waferのエッチング用ガス

太陽電池の製造工程において様々なガスが使用されますが、そのガスの管理も重要なプロセスになります。パーキンエルマーはサンプルの形態にあわせてサンプリングの手法をご提案いたします。

 

自動前処理システムラインナップ

 


TurboMatrix Headspace sampler

 


TurboMatrix Trap sampler


TurboMatrix Thermal Desober


Wafer Out Gas sampler

 

炭化水素およびフタル酸エステル類の高感度分析

高沸点成分の分析もTD/GCMSであれば分離分析が可能です。サンプルガスの再捕集機能を用いれば、同じガスの再分析も可能です。

 

Flat Panel Out Gas sampler
Flat Panel Out Gas sampler

HDD Out Gas sampler
HDD Out Gas sampler

Curie point Injector
Curie point Injector 

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装置の紹介