誘導結合プラズマ質量分析法 (ICP-MS) は、様々な化学物質中の金属不純物を分析する最も感度の高い技術の 1 つであるため、半導体産業において不可欠な分析ツールです。ほとんどの化学物質は、金属不純物の極微量レベルを測定するために最小限の希釈で分析されます。しかしながら、高濃度の化学物質の影響でサンプル導入、プラズマ、イオンレンズとコーンでICP-MS の感度は変化します。
このアプリケーションノートでは、IAS社の自動標準添加装置デュアルシリンジモデル（ASAS II_DS）と自動希釈機能付きオー
トサンプラー（ASDM）をPerkinElmer の NexION 5000 マルチ四重極 ICP-MSに接続してリン酸 (H3PO4) を分析した結果を紹介します。