緩衝酸化物エッチング液 (BOE) は、ふっ化水素酸、ふっ化アンモニウム、界面活性剤、超純水からなる混合物で、半導体業界でウェーハ上の薄膜をエッチングする際に使用されています。微量金属、微粒子、有機汚染物質は半導体の機能を変化させる可能性があることから、エッチング プロセス中のシリコンウェーハの潜在的な汚染を減らすことは非常に重要です。作業環境下での汚染をサブppt レベルで管理することは難しいため、適切にサンプル処理をしないと BOE 溶液を簡単に汚染してしまう可能性があります。
このアプリケーションノートでは、PerkinElmer の NexION 5000 マルチ四重極 ICP-MS を ESI社の prep FAST S （ウルトラクリーンモデル）サンプル導入システムを組み合わせ、半導体グレードのBOE 液を分析した事例を紹介します。