太陽電池モジュール製造工程におけるガス分析
太陽光発電（PV：Photovoltaic）はクリーンエネルギーのひとつですが、PV自体の製造過程で排出される環境負荷物質をモニタすることも重要なプロセスです。
パーキンエルマーのガスクロマトグラフィーは、太陽電池モジュールの製造工程におけるガス分析に威力を発揮します。製造現場（クリーンルーム）での有機物汚染管理、製造工程で使用するガスの純度管理および製品のアウトガス分析に対応します。
Clarus 560/600 GCMS ガスクロマトグラフ質量分析計
- 多彩な自動前処理システムによりあらゆる分析に対応可能
- クラス最高の質量範囲： m/z 1-1200 u
- 四重極質量分析計では最高の感度
- GCオーブンの高速冷却機能搭載
- ウェハ･IC部品･完成品などの各種アウトガス分析が可能
- 太陽電池製造工程で使用される各種ガス分析
太陽電池製造工程で使用されるガス
| 分類 | ガスの種類 | 用途 |
| 雰囲気ガス | Ar | 不活性雰囲気 シリコン単結晶炉 |
| O2 | 酸化性雰囲気 キャリアガス 酸化炉 拡散炉 CVD炉 |
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| N2 | 不活性雰囲気 キャリアガス 拡散炉 アニール炉 |
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| H2 | 還元性雰囲気 エピタキシャル炉 |
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| 原料ガス | SiH4 | エピタキシャル成長 多結晶シリコン |
| SiHCl3（TCS） | ||
| SiCl4 | ||
| 薄膜形成用ガス | SiH4 | SixNy, SiO2 |
| ドーピング用ガス | NH3 | 拡散 Doped Oxide膜 エピタキシャル 単結晶 |
| PH3 | ||
| B2H6 | ||
| ASH3 | ||
| SbH3 | ||
| エッチング用ガス | CF4 | 酸化膜, 多結晶Si, SixNy |
| CCl4 | Al, Crなどの金属のエッチング | |
| HCl | Si-waferのエッチング用ガス |
太陽電池の製造工程において様々なガスが使用されますが、そのガスの管理も重要なプロセスになります。パーキンエルマーはサンプルの形態にあわせてサンプリングの手法をご提案いたします。
自動前処理システムラインナップ
TurboMatrix Headspace sampler
TurboMatrix Trap sampler
TurboMatrix Thermal Desober
Wafer Out Gas sampler
炭化水素およびフタル酸エステル類の高感度分析
高沸点成分の分析もTD/GCMSであれば分離分析が可能です。サンプルガスの再捕集機能を用いれば、同じガスの再分析も可能です。
Flat Panel Out Gas sampler
HDD Out Gas sampler
Curie point Injector
装置の紹介
Clarus 560/600 GC/MS ガスクロマトグラフ質量分析計
ワイドマスレンジが生む高質量分析アプリケーション。SIMフルスキャン同時測定による効率的な同定と定量。PreVent™, MSVent™ による分析の効率化、高感度を実現。あらゆるアプリケーションに対応した3モデルをラインナップしました。
TurboMatrix 300TD/350・650ATD サーマルデソープションシステム
分析ガスを再捕集、再分析する"re-collect"機能搭載。電子部品等の各種工業材料中アウトガス、シックハウス、大気汚染物質、土壌中のVOC、医薬品中の残留溶媒分析など多分野に応用できます。